В различных отраслях техники все более широкое применение находят твердотельные электронные приборы. Вместе с тем одним из основных видов продукции электронной промышленности остаются электровакуумные приборы (ЭВП) различных типов. В ряде изделий промышленной и бытовой техники они не имеют конкурентов. Поэтому в последние годы наметилась тенденция существенного увеличения выпуска ряда типов ЭВП и в первую очередь средних и мощных генераторных ламп.
Наиболее трудоемким, сложным и ответственным технологическим процессом, который формирует электрические и вакуумные характеристики ЭВП всех типов, является откачка. Работы специалистов в этой области имеют целью сокращение цикла откачки, повышение качества и долговечности большинства выпускаемых типов ЭВП. Однако добиться этого в рамках существующих способов откачки трудно, прежде всего потому, что подавляющее большинство приборов откачивается через штенгели, которые герметизируются холодной сваркой (металлические) и огневой заваркой (стеклянные) при пониженных температурах оболочки (по сравнению с температурой обезгаживания). Штенгели обладают малой пропускной способностью, что не обеспечивает высокой быстроты откачки приборов, приводит к повышению давления в них, особенно на начальных этапах обезгаживания, вызывая отравление катода, насыщение элементов прибора газами и продуктами напыления с катода. Указанные недостатки особенно сказываются на длительности обработки и качестве приборов, в частности мощных генераторных ламп (МГЛ).
Вакуумная обработка приборов должна решать две основные задачи — получение в приборах высокого и сверхвысокого вакуума и создание условий для его сохранения при эксплуатации. Существенное влияние на вакуумные характеристики прибора оказывает способ герметизации — соединение узлов после термического обезгаживания. При герметизации металлических штенгелей холодной заваркой сварочным аппаратом и стеклянных — огневой из их материала бурно выделяются газы, ухудшающие вакуум в приборе. Пайка узлов прибора при бесштенгельной откачке также приводит к газовыделению и напылению металла из припоя на элементы внутренней арматуры. Последнее может вызывать токоутечки и пробои по изоляторам. Кроме того, холодносварные и паяные соединения элементов приборов не всегда выдерживают термомеханические нагрузки.
Для устранения одного из основных недостатков штенгельной откачки ЭВП — охлаждения приборов перед герметизацией — проведены опытно-конструкторские работы, имеющие целью заменить «холодную» герметизацию приборов «горячей». В настоящее время созданы откачные посты, позволяющие герметизировать приборы в горячем состоянии непосредственно после откачки.
